1.不攜入在無(wú)塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有：

　　1）作業(yè)員進(jìn)入無(wú)塵室前，機(jī)臺(tái)、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理；

　　2）進(jìn)入無(wú)塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

　　3）通過(guò)風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進(jìn)入無(wú)塵室。

　　4）機(jī)器及材料帶進(jìn)無(wú)塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無(wú)塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無(wú)塵室。

　　5）無(wú)塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

　　2.不發(fā)生在控制大污染源--人在無(wú)塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí)，也應(yīng)控制第二大污染源—制造機(jī)臺(tái)的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí)，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì)造成發(fā)塵，而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì)有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到小限度應(yīng)采取以下對(duì)策：

　　1）減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài)；

　　2）采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；

　　3）采用發(fā)塵小的潤(rùn)滑油；

　　4）機(jī)臺(tái)應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。

　　3.不儲(chǔ)備若能*實(shí)施“不攜入”技術(shù)，無(wú)塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機(jī)臺(tái)的掣動(dòng)，在廣大的無(wú)塵室內(nèi)要有*潔凈度是不可能的。因此“不儲(chǔ)備”技術(shù)快速地在過(guò)濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會(huì)依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動(dòng)及不穩(wěn)定的氣流會(huì)使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起，增加了重大微粒子污染的危險(xiǎn)性。無(wú)塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度，使用高性能的過(guò)濾器即可容易達(dá)到零水平，實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。在高等級(jí)的無(wú)塵室中從天花板到地面，*除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動(dòng)。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和*過(guò)濾空氣*交換所計(jì)算出來(lái)的數(shù)值。同時(shí)，空氣的流向也必須要有準(zhǔn)確的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無(wú)阻，因?yàn)樵诹魍窂街杏姓系K物的話，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無(wú)法快速排除而長(zhǎng)時(shí)間漂流在無(wú)塵室內(nèi)，而一部分會(huì)附著在周邊機(jī)器設(shè)備的表面而引起污染。控制氣流可防止微粒子累積，但對(duì)于帶電表面的微粒累積就無(wú)法防止。無(wú)塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度，使用高性能的過(guò)濾器即可容易達(dá)到零水平，實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。

　　4.潔要求

　　（1）清潔潔凈室內(nèi)的墻時(shí)應(yīng)使用潔凈室無(wú)塵布；

　　（2）用90％去離子水和10％的異丙醇配置清潔劑；

　　（3）使用已獲批準(zhǔn)的潔凈室去污劑；

　　（4）每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時(shí)清走。

　　（5）每塊地板都要吸塵。每次交接班時(shí)，都應(yīng)在地圖上標(biāo)明工作完成情況，例如在哪結(jié)束從哪開(kāi)始。

　　（6）清潔潔凈室的地面應(yīng)使用拖把。

　　（7）在潔凈室里吸塵應(yīng)使用帶有高效過(guò)濾器的真空吸塵器。

　　（8）所有的門都需要檢查并擦干